卓立-氣浮導軌滑台QF係列-北京CILICILI短视频网站儀器有限公司

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卓立-氣浮導軌滑台QF係列

產品型號：
產品時間：2025-04-29
簡要描述：卓立-氣浮導軌滑台QF係列是采用的靜壓氣浮導軌作為保持機構，直線電機驅動的直線滑台。具有高穩定度、高分辨率，精密位移，大負載的功能。采用氣浮導軌為保持機構，工作過程沒有摩擦，無灰塵產生，沒有爬行現象。產品尺寸較多，可以根據需要靈活選擇，該係列產品適合用於半導體行業或其他對於精密位移亞微米級調整有需求的客戶。

產品介紹

卓立-氣浮導軌滑台QF係列產品概述

說明：

QF係列是采用的靜壓氣浮導軌作為保持機構，直線電機驅動的直線滑台。該係列滑台具有高穩定度、高分辨率，精密位移，大負載的功能。采用氣浮導軌為保持機構，工作過程沒有摩擦，無灰塵產生，沒有爬行現象。直線電機作為驅動機構，齒槽小，分辨率高，輕鬆實現亞微米級定位需求。產品尺寸較多，可以根據需要靈活選擇，QF 係列產品適合用於半導體行業或其他對於精密位移亞微米級調整有需求的客戶。台麵多種標準孔位的安裝孔適合不同需要，下方標準固定孔方便將其與其他滑台連接，組成多維移動台。

特點：

· 采用氣浮靜壓導軌，運動無爬行，直線度好，負載可控製，穩定性好；

· 采用直線電機，微步能力好，驅動力可控，速度穩定；

卓立-氣浮導軌滑台QF係列命名規則：

QF 25-300 S-BNA

QF 係列代碼：

QF:單軸空氣軸承類滑台 QFD:XY組合空氣軸承類滑台

QFH:龍門組合空氣軸承類滑台

25 台麵寬度：

25:250mm 30:300mm

300 有效行程：

100:100mm 200:200mm

300:300mm

S 基座材質：

A:鋁合金

S:大理石

C:碳化矽

B 分辨率：

1:0.1 μm S:50nm

B:20nm

N 電機類型：

N:無鐵芯

M:有鐵芯

A 台麵材質：

A:鋁合金

T:其它

以上命名規則除技術規格列表內標準產品，其餘配置請聯係銷售進行定製。

QF係列氣浮導軌滑台選項表

型號	QF25-100A-BNA	QF25-200A-BNA	QF25-300A-BNA	QF25-400A-BNA
台麵尺寸(mm)	245x200(運動方向)
厚度(mm)	120
移動量(mm)	100	200	300	400
光柵尺分辨率(nm)	20
驅動方式	無鐵芯直線電機
導軌	一體式靜壓導軌
雙向重複精度(μm)	0.4
無*正定位精度(μm)	1.2
直線度(μm)	2	2.5	3	3
俯仰(arcsec)	4.5
偏擺(arcsec)	2.1
主體材料及表麵處理	鋁合金，黑色硬質陽極氧化處理
中心負載(Kg)	10/μm

型號	QF25-400S-BNA	QF25-500S-BNA	QF25-600S-BNA	QF25-800S-BNA
台麵尺寸(mm)	290x200(運動方向)
厚度(mm)	189
移動量(mm)	400	500	600	800
光柵尺分辨率(nm)	20
驅動方式	無鐵芯直線電機
導軌	氣浮腳式靜壓導軌
雙向重複精度(um)	0.3
無*正定位精度(μm)	1.2
直線度(μm)	2	3	5	5
俯仰(arcsec)	2
偏擺(arcsec)	2
主體材料及表麵處理	大理石，鋁合金
中心負載(Kg)	15/um

說明：

1.以上測試數據在使用TMC-NET-2L 控製係統下，采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下，采用等級為VC-C 環境下隔振係統所測試；

2.測試用氣體0.5MPa 壓縮空氣，做過濾和除水工藝；

3.測試環境介於萬級~十萬級潔淨空間內；

4.測試溫度20±1℃,濕度40~60%。

特點和選型指導

項目	xxxA	xxxS	xxxC
材質	鋁合金	大理石	碳化矽陶瓷
導軌長度(mm)	200~800	400~3000	400~2000
外形尺寸(mm)	超小~中	中~超大	小、中、大
製作方式	機加工	磨削	燒製
重複精度(μm)	0.3	0.3	0.25
直線度(μm)	1~3	2~5	2~3
組合形式	X, XY(小)	X、XY、龍門	X、XY、龍門
造價(元)	1~10	5~100	50~1000